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Cleanroom AGV Power Floor

净化室

在敏感环境中,受益于无接触供电的固有清洁度

简介

在与气候有关或受净化室控制的环境中存储和搬运货物非常具有挑战性。某些制造和分销过程的产品需要严格的温度和湿度控制或无尘环境。将能量无接触传输到地面和轨道系统,如自动化仓储系统 (ASRS),可提供清洁、无排放的运输。 

  • 没有能量传输造成的污染
  • 无排放,可抵御恶劣的气候室/净化室环境 
  • 易于安装和维护
Automated Handling Material System Lines for Wafers Inside Advanced Semiconductor Production Fab Cleanroom

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